材料 |
身体 |
304S.S.(*1) |
盘子 |
304S.S.(*1) |
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轴 |
304S.S. |
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浇口密封 |
氟橡胶 |
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轴封 |
氟橡胶 |
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法兰 |
KF、ISO、CF |
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安装位置 |
任何 |
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循环至首次服务 |
压力控制 |
2,000,000(*2) |
闭幕/开盘 |
250,000 |
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1 个大气压差下的氦气泄漏率 |
< 1 x 10-9 毫巴/秒 |
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压力范围 |
1 x 10-8 毫巴至 1.2 巴 |
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工作温度 |
身体 |
10°C 至 110°C |
驱动器 | 步进电机 | |
标准配件 |
M12 单端连接线组,5 极,通过 CAN 总线从母头(直)到尾纤, |
(*1)主体和板材材料可以选择铝合金。
(*2)阀门的循环寿命适用于室温25°C和清洁环境,开启动作适用于小于10毫巴的压差。(如果打开动作超过 10 mbar 的压差,则不在此保修范围内。
(*3)如果阀门的工作状态出现颗粒问题,请定期清洁阀板和阀体,并在这些部件上涂抹一些真空润滑脂。
控制和执行单元 |
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输入电压 |
+24 伏直流 (±10%) |
连接器:电源 |
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功耗 |
最大 100W (控制器 + 电机 + 传感器 + 电源故障) |
连接器:电源 |
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传感器电源输出 |
+24 伏直流 /+-15 伏直流,500 毫安 |
连接器:传感器 |
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模拟输入 |
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传感器数量 |
独立 2 通道 |
连接器:传感器 |
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输入电压 |
0-10V 直流线性 物理量 |
连接器:传感器 |
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分辨率 |
12位 |
2.3 毫伏 |
连接器:传感器 |
24位 |
0.5 毫伏 |
连接器:传感器 |
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输入电阻 |
Ri = 21 kΩ |
连接器:传感器 |
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数字输入/输出 |
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输入 |
独立 2 通道 |
连接器:接口 |
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输出 |
独立 2 通道 |
连接器:接口 |
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环境温度 |
≤ 70°C -24小时 |
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控制精度 |
最大传感器范围的 0.1% |
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备用电源 |
是的 |
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KF25,KF40,KF50,CF35 |
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关门时间 |
<0.85秒 |
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开放时间 |
<0.85秒 |
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阀门最大扭矩 |
50公斤-厘米 |
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位置分辨率 |
8000(步骤0-90旋转) |
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ISO63, ISO80, ISO100, CF63, CF100 |
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关门时间 |
<0.85秒 |
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开放时间 |
<0.85秒 |
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阀门最大扭矩 |
50公斤-厘米 |
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位置分辨率 |
8000(步骤0-90旋转) |
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ISO160, CF150 |
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关门时间 |
<3.5秒 |
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开放时间 |
<3.5秒 |
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阀门最大扭矩 |
90公斤-厘米 |
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位置分辨率 |
2400(步骤0-90旋转) |