超高真空3位置真空闸阀-第十八届全国化学动力学会议
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超高真空3位置真空闸阀

产品分类:云展厅

企业名称:日扬电子科技(上海)有限公司

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材质

  本体

304 S.S.

  阀车

304 S.S.

  闸门

304 S.S.

  波纹管

AM350

  使用寿命

  HV :DN100 ~ 200_300,000 cycles

        DN250 ~ 200,000 cycles

  UHV :DN100 _ 100,000 cycles

           DN150 ~ 250_50,000 cycles

  1大气压力下之漏

  <2×10-9 mbar․l /sec for O-ring

  <5×10-10 mbar․l /sec for gasket seal

  耐温限制

  Open

  200℃ Viton® bonnet seal

  Closed

  150℃ Viton® bonnet seal

  使用压力范围 (mbar)

  HV: 1x10-8 ~ 1000

  UHV: 1x10-10 ~1000

  最大使用压差 ΔP (mbar)

  ≦ 30 before opening

  标准密封

  闸门

Viton O-ring

  阀盖

Viton O-ring or OFHC copper gasket

  驱动器

  气动式 Pneumatic

  气压源
  连接气管
  压力范围


Ø6 mm
4~6 Kg/cm2(overpressure)

  表面处理

  表面抛砂处理

  选配

  a. 位置指示器
  b. 气动控制电磁阀
  c. 超规加大型接口
  d. 其他闸门材质O型圈密封